5月28日,市科(kē)技局邀请有(yǒu)关专家对中晶科(kē)技承担并完成的福建省科(kē)技小(xiǎo)巨人领军企业培育重大项目“ 新(xīn)型图形尺寸工艺开发(大尺寸图形开发)”进行结题验收。专家验收组在听取汇报、审阅资料、质询答(dá)疑、现场审查后,一致认定已全部完成各项任務(wù)指标,同意通过课题结题验收。
中晶科(kē)技于2019年起承担该项科(kē)技小(xiǎo)巨人研发任務(wù),经过近3年的研究,制作完成了2种新(xīn)型尺寸PSS的样品,并通过添加CHF3刻蚀气體(tǐ)以及改变工艺参数有(yǒu)效提高大尺寸图形在PSS片内的占比,实现LED的光萃取效率明显增加,客户反馈良好。
目前,该项自主技术创新(xīn)科(kē)研技术在中晶科(kē)技生产線(xiàn)上得以应用(yòng),对提升公司产品性能(néng)、提高市场竞争力起到了重要作用(yòng)。