近日，中晶科(kē)技生产線(xiàn)完成蚀刻添加CHF3新(xīn)工艺PSS产品的全面量产，标志(zhì)着蚀刻添加CHF3工艺这一行业全新(xīn)技术，经过近2年的研究取得圆满成功。

蚀刻添加CHF3工艺是指在PSS生产的蚀刻过程中适当加入CHF3气體(tǐ)，并配以科(kē)學(xué)调整電(diàn)极功率、三氯化硼流量、设备腔體(tǐ)温度等参数，实现提升蚀刻选择比，缩短刻蚀工艺时间，提高产量，节约光刻胶及三氯化硼用(yòng)量。经初步统计，CHF3新(xīn)工艺导入后蚀刻产能(néng)较以往提升10%以上，预估2021年此项技术创新(xīn)将新(xīn)增利润超300万元。

近年来，中晶科(kē)技始终将技术创新(xīn)作為(wèi)推动提质增效的重要抓手和提升核心竞争力的重要途径，紧盯行业技术趋势，不断加大技术研发力度，多(duō)项新(xīn)技术、新(xīn)工艺的实施，大力推动了公司生产经营提质增效、转型升级。